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纳机电系统


 

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TM7/0259

(法)劳伦·特拉夫格,朱利安·阿尔卡莫内 著;曹峥 译 北京:机械工业出版社



  本书介绍了MEMS(微机电系统)向NEMS(纳机电系统)的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺,为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。
  本书针对性强、内容精练,非常适合对MEMS、NEMS这一特定话题感兴趣的读者阅读,同时也适合MEMS、NEMS技术人员和设计人员使用,可供MEMS、NEMS专业的高年级本科生和研究生参考。

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